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上海研潤光機科技有限公司
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TAYLOR-PGI 超精密表面輪廓儀
TAYLOR-PGI 超精密表面輪廓儀 TAYLOR-PGI 超精密表面輪廓儀 TAYLOR-PGI 超精密表面輪廓儀
TAYLOR-PGI 超精密表面輪廓儀簡介

TalysurfPGI系列設置簡單,易于使用,專為分析高精密應用而設計。
為了滿足現代眾多應用需求,許多部件都需要具備高質量、高耐用性、高精度和可信賴性。
Taylor Hobson對半徑、形狀、輪廓和主波長等能夠進行深入分析,為設計和生產提供重要的反饋。
專為您的應用需求而設計
- 滿足下一代日益增長的科技需求
醫療:深入分析醫療植入物的特性,例如磨損,可為植入物的設計提供至關重要的反饋。
汽車行業:表面缺陷和劃痕分析,把控生產過程。
噴油器:形狀、直線度和表面粗糙度分析,把控生產過程。
航空航天:TalysurfPGI系列儀器可使用Q-Link (生產管理界面) ,適用于數據和嚴格標準的操作程序的控制。
研發:滿足大學和研究機構中對富有挑戰性的應用和廣泛測量需求
以下參數對儀器性能的發揮有著至關重要的作用:
噪音:
所有測量儀器都需要有一個穩定的測量基準框架。噪音是測量由儀器所處環境和測量儀器對結果 產生的影響。
Taylor Hobson引用的是全系統噪音而其它生產商僅僅引用傳感器噪音。
重復性:
重復性是在儀器重現表面或者輪廓形狀時測量能力的真實表現。
Taylor Hobson出色的重復能力價值能夠保證測量的完整性和測量結果的可信任度。其它生產商則無
法達到此標準參數。
直線度精度:
被測量表面與參照基準對比的一致性是形狀和半徑測量的必要條件。
Taylor Hobson通過使用一個高精度基準導軌。實現超高的直線度, 基準導軌是在工廠內部使用高
精密研磨工藝制造確保正確的直線度。
量程與分辨率的比率:
量程分辨率是測量量程及其分辨率的比率。
TalysurfPGI 2000S能夠提供分辨率0.3nm量程20mm的選擇,一次測量便可實現亞微米精度的
表面粗糙度、大形狀和輪廓的測量。
傳感器性能:
對任何測量系統來說,傳感器直線度在評估形狀和表面偏差時發揮著至關重要的作用。傳感器精度 與測針針尖和傳感器之間的反饋密切相關,是傳感器在量程移動范圍內顯示值和真實值之間的最大 誤差。
Talysurf PGI在大小量程范圍內有著高級別的精度。
世界領先的表面粗糙度、半徑和形狀精度
擁有專利權的傳感器校準程序以及以上所提到的功能的綜合:噪音、重復性、量程分辨率 和直線度都會影響表面粗糙度、半徑和形狀精度。這些參數保證了儀器擁有多樣性和高精度的測量能力。

TAYLOR-PGI2000/2000E/2000S技術參數:
一、系統性能:
形狀校準誤差(Pt):<0.20μm (8 μin) ;
系統噪音:Rq < 2 nm (0.08 μin), Rz < 10 nm (0.39 μin) ;
半徑測量不確定度:0.1 - 10mm (0.004 - 0.39in) -標稱值< 1μm;10 - 360mm (0.39 - 14.17in) - 標稱值的0.01% 至0.006%
斜坡測量不確定度:0.5 角分;
Z軸傾斜重復性:平面表面- 0.08 μm (3.1 μin);曲面表面- 0.08 μm (3.1 μin);
二、水平性能:
驅動長度– X最大/最小:120 mm / 0.1 mm (4.7 in / 0.004 in) 或200 mm / 0.1 mm (7.9 in / 0.004 in) ;
驅動速度:最大 13 mm/s (0.51 in/s);
測量速度:0.25 mm/s, 0.5 mm/s, 1 mm/s & 2 mm/s (0.01 in/s, 0.02 in/s, 0.04 in/s & 0.08 in/s) ;
X軸最小采樣間距:0.125 μm (5 μin) ;
直線度精度(Pt):120 mm 驅動箱- 0.08 μm (3.2 μin) / 200 mm 驅動箱- 0.110 μm (4.3 μin) ;
X軸傾斜精度:(1 + 0.02 L) μm ;
三、垂直性能:
標稱測量量程(Z):20 mm (0.79 in) ;
分辨率(Z):PGI2000/5.3nm (0.21μin);PGI2000E/1.3nm (0.05μin);PGI2000S/0.3nm (0.01μin);
量程與分辨率的比率:PGI2000/3773585:1;PGI2000E/15384615:1;PGI2000S/66666666:1;
直線度精度:0.07+0.03Z[mm]μm;(3+30Z[in]μin);
測針臂長度:標準長度100mm;
針尖大小:2μm半徑錐球形金剛石測針;
測針針尖壓力:<1mN;

TAYLOR-PGI1500/1500E/1500S技術參數:
一、系統性能:
形狀校準誤差(Pt):<0.15μm (6μin) ;
系統噪音:Rq<2nm (0.08μin),Rz<10nm (0.39μin) ;
半徑測量不確定度:0.1 - 10mm (0.004 -0.39in) -標稱值< 1μm;10 - 360mm (0.39 - 14.17in) - 標稱值的0.01% 至0.006%
斜坡測量不確定度:0.5 角分;
Z軸傾斜重復性:平面表面-0.08μm (3.1μin);曲面表面- 0.08μm (3.1μin);
二、水平性能:
驅動長度– X最大/最小:120mm / 0.1mm (4.7in/0.004in)或200mm/0.1mm(7.9in/0.004in) ;
驅動速度:最大13mm/s(0.51in/s);
測量速度:0.25mm/s,0.5mm/s,1mm/s和2mm/s(0.01in/s,0.02in/s,0.04in/s和0.08in/s) ;
X軸最小采樣間距:0.125μm (5μin) ;
直線度精度(Pt):120mm驅動箱-0.08μm (3.2μin)/200mm驅動箱-0.110μm (4.3μin) ;
X軸傾斜精度:(1+0.02L)μm ;
三、垂直性能:
標稱測量量程(Z):15mm (0.59in) ;
分辨率(Z):PGI1500/5.3nm (0.21μin);PGI1500E/1.3nm (0.05μin);PGI1500S/0.3nm (0.01μin);
量程與分辨率的比率:PGI1500/3773585:1;PGI1500E/11538461:1;PGI1500S/50000000:1;
直線度精度:0.07+0.03Z[mm]μm;(3+30Z[in]μin);
測針臂長度:標準長度100mm;
針尖大小:2μm半徑錐球形金剛石測針;
測針針尖壓力:<1mN;

TAYLOR-PGI1000/1000E/1000S技術參數:
一、系統性能:
形狀校準誤差(Pt):<0.15μm (6μin) ;
系統噪音:Rq<2nm (0.08μin),Rz<10nm (0.39μin) ;
半徑測量不確定度:0.1-10mm (0.004-0.39in) -標稱值<1μm;10- 360mm (0.39-14.17in) -標稱值的0.01%至0.006%
斜坡測量不確定度:0.5 角分;
Z軸傾斜重復性:平面表面-0.08μm (3.1μin);曲面表面- 0.08μm (3.1μin);
二、水平性能:
驅動長度– X最大/最小:120mm/0.1mm (4.7in/0.004in)或200mm/0.1mm(7.9in/0.004in) ;
驅動速度:最大13mm/s(0.51in/s);
測量速度:0.25mm/s,0.5mm/s,1mm/s和2mm/s(0.01in/s,0.02in/s,0.04in/s和0.08in/s) ;
X軸最小采樣間距:0.125μm (5μin) ;
直線度精度(Pt):120mm驅動箱-0.08μm (3.2μin)/200mm驅動箱-0.110μm (4.3μin) ;
X軸傾斜精度:(1+0.02L)μm ;
三、垂直性能:
標稱測量量程(Z):10mm (0.39in) ;
分辨率(Z):PGI1000/5.3nm (0.21μin);PGI1000E/1.3nm (0.05μin);PGI1000S/0.3nm (0.01μin);
量程與分辨率的比率:PGI1000/3773585:1;PGI1000E/7692307:1;PGI1000S/33333333:1;
直線度精度:0.07+0.03Z[mm]μm;(3+30Z[in]μin);
測針臂長度:標準長度100mm;
針尖大小:2μm半徑錐球形金剛石測針;
測針針尖壓力:<1mN;
一、測量臺:
驅動單元機動傾斜:可選、傾斜±9°;
儀器尺寸:
儀器重量:223Kg(450mm高度立柱);(可選700mm高度立柱237Kg) ;
電動垂直立柱:450mm(17.7in)(可選700mm(29.5in));
二、環境要求:
儲存溫度:5oC至40oC(41oF至104oF);
儲存濕度:相對10%至80%,無結露;
工作溫度:18oC到22oC(64oF到72oF) ;
溫度梯度:<2oC/小時 (<3.6oF/小時);
工作濕度:相對45%至75%,無結露;
最大RMS地面震動:<50Hz時,3μm/s (120μin/s);<50Hz時,6μm/s(200μin/s) ;
激光級別:級別1產品EN60825-1(2001),連續光波(CW)輸出<1mW激光最大功率,<50μW產品最大功率;
三、電源:
電源類型:交流、單相接地(3線制);
儀器和計算機電壓:90V-230V;
頻率:47Hz到63Hz;
電源電壓瞬變值-寬度:EN61000-4-4:1995;
功耗:500VA;
安全:EN61010-1:2001;
EMC:EN61000-6-4:2001;EN61000-6-1:2001;
以上引用的參數數據是在可控制環境內的計量實驗室得出的:20°C ±1°C (68°F ± 1.8°F),無通風,獨立于低頻率噪音震動端。
不確定度和最大允許誤差(MPE's)是在95%置信區間下測得,參照ISO的《測量不確定度表示指南》(GUM: 1993)。所有誤差如MPE表述。
注釋:
1.在一個半徑為80mm (3.15in) 玻璃標準器上的LS圓弧分析(速度=1mm/s, 原始濾波器Ls=0.25mm) ;
2.與驅動基準標稱平行的玻璃平晶上進行5次可追溯測量的平均量,使用100mm長金剛石針尖測針(速度=0.5mm/s,高斯濾波器, Lc 0.08mm, Ls 0.0025mm);
3.假設標定球為理想半徑 ;
4.測量值在傳感器量程80%的上下35o角坡度內得到,使用金剛石針尖100mm的測針;
5.與驅動基準標稱平行的玻璃平晶上重復測量,使用100mm長金剛石針尖測針(速度 = 1mm/s,原始濾波器Ls=0.025mm) ;
6.在一個半徑為80mm (3.15in) 玻璃標準重復測量,使用100mm長的金剛石針尖(速度=1mm/s,,原始濾波器LS=0.025mm) ;
7.對于表面粗糙度測量, 建議使用0.5mm/s (0.02in/s)或更低的速度。
8.與驅動基準標稱平行的玻璃平晶上測量,使用100mm長的金剛石針尖(速度=1mm/s,LS直線分析,原始濾波器Ls=2.5mm) ;
9.L的單位是mm;
10.使用100mm長的金剛石測針;

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