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上海研潤光機科技有限公司
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TAYLOR-LUPHOS 非接觸式表面輪廓測量儀
TAYLOR-LUPHOS 非接觸式表面輪廓測量儀 TAYLOR-LUPHOS 非接觸式表面輪廓測量儀 TAYLOR-LUPHOS 非接觸式表面輪廓測量儀
TAYLOR-LUPHOS 非接觸式表面輪廓測量儀簡介

一:LuphoScan高速非接觸式3D非球面光學面形測量系統
LuphoScan測量平臺是一款基于多波長干涉技術(MWLI)的干涉式掃描測量系統。它專為旋轉對稱表面的超精密非接觸式3D形狀測量而設計,例如非球面光學透鏡。
LuphoScan平臺能夠輕松進行非球面、球面、平面和自由曲面的測量。該儀器的主要特性包括高速測量、特殊表面的高靈活度測量 (例如;拐點的輪廓或平坦的尖點), 最大物體直徑可達420 mm。因為采用多波長干涉技術(MWLI)傳感器技術,因此能夠掃描各種表面類型如透明材料、金屬部件和研磨表面。
LuphoScan系統能夠為高質量的光學表面3D形狀測量提供正確效益
對任何旋轉對稱的表面的深入分析
超高、可重復精度
可測量任何材料 - 透明、鏡面、不透明、拋光、研磨
大球面的偏離
高速測量
直徑 - 20mm、260mm 或 420mm
使用LuphoSwap擴展功能完成對光學部件形狀誤差特性的測量
LuphoScan 260和LuphoScan 420測量平臺可以應用LuphoSwap的擴展功能,來對透鏡兩個表面的所有特征進行連續的測量。一個特殊的測量概念能夠將兩個表面的測量結果相關聯起來。這個概念就是在測量形狀誤差的同時,LuphoSwap能夠確定透鏡兩側表面的精確的厚度、楔形度和偏心度誤差以及旋轉定位。此外,還能夠確定透鏡底座位置。這個強大的軟件工具功能來自于LuphoSmart傳感器技術,一個優質的概念模式,以及額外的(跳動)基準傳感器。
LuphoScan系統能夠為高質量的光學表面3D形狀測量提供正確效益:
1.對任何旋轉對稱的表面的深入分析:非球面、球面、平面和自由曲面
2.超高、可重復精度:≤±50nm
3.可測量任何材料:透明、鏡面、不透明、拋光、研磨
4.大球面的偏離:不受限制。例如,能夠測量盤式或者鷗翼表面,以及彎曲點的輪廓
5.大斜坡:可達90°(例:半球測量)
6.高靈活度:測量局部面、環形光學透鏡、矩形表面、衍射面結構表面、錐透鏡
7.完整透鏡特征:透鏡厚度、楔形誤差、偏心誤差、透鏡安裝位置
8.直徑:120 mm、260 mm或者420 mm
9.高速測量:
例:1:58分(直徑=30mm,Roc=60mm,100點/mm2),或者5:29分(直徑=130mm,Roc=150mm,50點/mm2);
10.基于多波長干涉技術的光學計量應用:
10.1LuphoScan平臺能夠輕松進行非球面、球面、平面和自由曲面的測量。該儀器的主要特性包括高速測量、特殊表面的高靈活度測量 (例如;拐點的輪廓或平坦的尖點), 最大物體直徑可達420 mm。因為采用多波長干涉技術(MWLI)傳感器技術,因此能夠掃描各種表面類型如透明材料、金屬部件和研磨表面。
10.2測量原理:掃描過程是通過多波干涉技術(MWLI)傳感器進行的,包含四個精密工作臺。在測試條件下,MWLI點傳感器連續測量傳感器到被測物的距離。被測件放置在一個可360度旋轉的工作臺(C)上,與此同時,傳感器的位置由兩個直線工作臺(允許水平(R)和垂直(Z))移動和一個旋轉臺 (T) 進行控制。在標準操作模式下,傳感器垂直和等距于被測表面。在嚴格操控下,沿著樣件對應的理想的輪廓移動完成面形掃描。在單個測量過程中,C臺帶動被測物進行旋轉,其它的幾個平臺移動傳器以便在整個測量平 面上進行螺旋式掃描(如圖)。由此產生的點狀圖則顯示了可能出現的任何形狀偏差和物體表面的缺陷,從而完成了對表面形狀的測試。
二:LuphoScan 260 HD任何旋轉對稱光學元件的非接觸式三維形狀測量
LuphoScan 260 HD測量臺開創了光學表面高精密計量的新領域。新一代的測量系統能夠測量物件角度大至90° 度,絕對測量精度高于±50 nm (3σ) 。測量結果有著極高的重復性且低噪音。
全新的 LuphoScan 260 HD是對高精度有著極高要求應用的理想選擇,是生產過程控制的最基本要求。可測量坡度極高的表面、具有不同間距方向的表面、極小的表面例如手機鏡頭模具。
無與倫比的測量能力
HD = 高分辨率
快速的、值得信賴的非球面表面非接觸式三維形狀測量
高精度 - 物件坡度高至90° 度
是測量大的、陡峭的和極小的非球面鏡頭(如手機鏡頭模具)的理想選擇
測量結果極高的重復性
Power和PV測定參數的正確穩定性
系統噪音極低
堅固耐用,不受環境變化的影響

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